Page 92 - 机械工程材料2024年第十一期

张健宇，等：冷轧和退火对压延铜箔残余应力和力学性能的影响

图 2 铜箔母材和不同加工状态压延铜箔的晶粒尺寸分布
Fig. 2 Grain size distribution of copper foil base metal (a) and rolled copper foil in different processing
states (b–c): (b) cold-rolled state and (c) annealed state

图 3 铜箔母材和不同加工状态压延铜箔的取向分布函数图
Fig. 3 Orientation distribution function plot of copper foil base metal (a) and rolled copper foil in different processing
states (b–c): (b) rolled state and (c) annealed state

铜箔内部产生了再结晶，按照晶界能量最小化的机 后压延铜箔的表面残余应力显著增加，退火处理后
理新晶粒的取向趋向于具有较低能量的方向，从而 虽下降但仍高于冷轧前。在轧制过程中，连续的挤
使Cube织构〈001〉发生回复。 压和拉伸作用力使得铜箔的晶粒尺寸减小，大量形
2.2 力学性能 变织构产生，晶格结构畸变，晶格错配和形状不匹
铜箔母材以及轧制态和退火态压延铜箔的表面 配，导致晶界处应力累积；同时大量的位错在晶体
残余应力分别为218.21，543.02，237.47 MPa。冷轧 中运动、传播，与其他缺陷相互作用，形成复杂的位

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